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第八十九章 光刻机（第1页）

1点57分，孟谦在工厂门口等到了何文康，跟着何文康一起过来的还有一个是他的男秘书蔡元。

简单打了个招呼就一起进厂，在门口的时候孟谦跟张国强相视一笑，两人并没有打招呼。

“孟总，知道我为什么要带你来工厂么？”走进工厂后何文康问道。

孟谦摇了摇头，他确实不知道。

“你不知道就对了，我也不知道。”何文康冲着孟谦一笑，笑的孟谦莫名其妙。

整个工厂有五个厂房，一个食堂，一个宿舍，还有一个运动区。

何文康带着来到了最正中间的厂房，一进门就可以看到两边摆满的设备和地上密布的电缆。

而最显眼的，就是进门右手边的一台半暴露的“庞然大物”。

何文康带着孟谦走向了那台设备，厂里的几名员工纷纷跟何文康打招呼，同时打量了一下孟谦，毕竟他最近老出现在工厂门口，有人也问过张国强他是谁，张国强只道是个来了解情况的，没有细说。

“知道这是什么吧？”何文康驻足盯着设备看了一会儿后转过头问孟谦道。

“光刻机。”孟谦有些低沉的回应了一句，同样驻足盯着光刻机，一种奇怪的情绪涌上心头，光刻机，多少华夏人心头的痛啊...

何文康微微侧头观察着孟谦的表情，然而孟谦表现在脸上的情绪让他突然懵逼了，怎么感觉看出了一种...杀父之仇的感觉？

“孟总知道这些东西都是干嘛的嘛？”搞不懂孟谦的何文康用手对着光刻机画了个圈问道。

“大概了解，但不详细。”孟谦向前了两步想看的更清楚。

“那我简单跟孟总介绍一下吧”何文康同样上前两步先指了指设备最边上的一个椭圆形的东西，“这是激光器，边上这个是能量控制器，下面是光束矫正器，就这三个东西控制着光源的第一步输入，这一环节最重要的，是稳定。

但就是一个稳定，我们华夏这么多年就是控制不好，孟总知道为什么么？”

孟谦摇了摇头。

“那孟总知道这么一台光刻机一天的耗电量么？”

孟谦再次摇了摇头。

何文康看了一眼激光器道，“一万度电起步。”

孟谦稍惊了一下，他后世确实没了解的这么细，这一世又一直在了解更上游的东西，“是因为能量转换率的问题吧？”

“是的。”何文康冲着孟谦点了点头，“光刻机的能量转换率平均值还不到千分之一。

所以如何保证一个长时间内持续稳定的高功率输出，这是光源输入的第一个稳，第二个稳在于，如何提升能量稳定以提升良品率，要知道，最终的能量一旦出现一点极小的误差，都会影响到良品率，最后一个稳，也是最基本的稳，如何通过设备稳定来降低用电量。

一个表现优异的激光器和能量转换器，它会影响企业的电力成本以及产品的良品率。”

“一个拥有三四台光刻机的晶圆厂，每年光电费就要上千万...”孟谦下意识的接了一句。

“目前市面上设备的优劣可以带来的用电差距，高达两倍。”何文康往右边走了几步，“从能量控制器出来的能量会进入光束形状设置装置，不同的光束会带来不同的光学效果。

再过去就是能量探测器了，刚才我也说了，能量的误差会直接影响到良品率，所以这里算是对能量的二次确认，能量探测器下面那个东西叫掩模版，这东西本质上就是一个刻着芯片线路的玻璃，类似于相机的底片。

但就这么一块破玻璃，孟总猜猜看多少钱？”

孟谦想了想道，“何总直接说答案吧。”

何文康淡淡一笑，“一块破玻璃，一百万。”

说完，何文康示意孟谦向右走两步，“掩模版下面这一块就是最重要的东西了，物镜，孟总可以数一数，这里总共有20多块镜片，通过这20多块镜片，将掩膜版上的电路图按比例缩小，再被激光映射到硅片上，同时物镜还要补偿各种光学误差。

这个东西，孟总也很清楚，咱们搞不定。

下面这两个平台是测量台和曝光台，正常流程，先测量，再曝光，整个测量台的精度是纳米级的，差1纳米都不行，我们用的自动调焦系统，是米国人设计的。

好了，这就是一台从表面上能看到的光刻机，但技术却不仅只是这些，就比如看到这里的传输带了么，这是传输系统，同样是纳米级的，而且加速系统是航空水平，整个光刻机还需要减震系统，环境控制系统，整机控制系统，自动化操作系统等等。

这就是光刻机，一个把它模块化之后，每一个模块的难度都是一个缩小版光刻机的东西。”

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