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光刻机研发这么多年,理论体系大家都清楚,但能否用技术实现出来却至关重要。
徐磊虽然率先解决了光源系统,能够达到很高的分辨率以及使用寿命。
可配制光刻胶却比较棘手。
霓虹国能为海外光刻机公司提供高端光刻胶,很大程度上是借助了自身在特殊材料领域的发展。
国内由于此行业底蕴较为薄弱,以至于不少原材料都需要徐磊从零开始研发,这在效率速度上自然会慢上很多。
况且要保证在晶圆上蚀刻出3纳米甚至1纳米的芯片电路,对光刻胶的要求也就更高,起码品级要超出海外高端光刻机所使用的光刻胶,否则若最后和制作出来的顶级光刻机不配套,那就成了宝剑配上一个烂木鞘,怎么看会怎么别扭。
至于物镜系统的研发,进度则就明显快多了。
海外高端光刻机所使用的镜头,基本来自徳国公司。
且镜头上的每一块镜片均采用人工打磨的方式,确保镜片没有任何瑕疵。
华科院内尽管找不到这种程度的工匠,但依靠星瞳的强大智能运算能力和徐磊的把控,最后打磨出来的镜片倒也能够满足顶级光刻机的需求。
于是在这种情况下。
最后当光刻机各部件成功完成组装,可以进行测试的时候。
仅剩下光刻胶仍旧没有解决。
这使得其他人也只能耐心等待,相信徐磊可以配制出顶级的光刻胶。
但由于先前华科院已经放出风去,表示春节前后就能让国产光刻机投入使用。
所以眼看着时间一天天流逝,大家的心情也开始紧张起来。
尤其是院长杨森平。
几乎都快把自己的办公室搬到实验室来了。
大部分时间都待在项目研究中心。
当然。
他除了是关心项目进度外,更重要的还是想保证这边的新项目研究组不出现差池,省的到时候造成严重影响。
再对他先前负责的项目组成员筛查后,发现其中一名人员和海外势力存在特殊联系。
并在调查后确定正是对方把项目组解散的消息传了出去。
对此杨森平虽然按照规定进行了严肃处理,但也不想看到徐磊负责的这个新项目组出现类似情况,所以相比刚开始那几天后面他到实验室来的频率明显增加。
很快,时间来到一月下旬。
当未来科技公司都已经正常放年假的时候,华科院光刻机项目研究组的所有成员仍旧坚守在工作岗位上。
只是相比上个月的信心满满,此刻大多数人脸上都流露着急迫的神情。
“杨院长,现在距离春节可没几天了。”
“但光刻胶的问题依旧没有解决,再这样下去等到时候肯定会在网上引起不小的节奏风波。”
这天上午。
化学实验室外面。
随着一位科研人员当着杨森平的面讲出这句话,顿时便让众人打开了话匣子,说着自己此时心里的想法。
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