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正在想事情的李元被问的一愣,刘燕重新问了一次。
“呃!在谈单晶硅时,先从多晶硅说起。
我专门调研过,京都玻璃厂生产的多晶硅纯度经过专门的化学提纯工艺,已经达到了9个9。
而我们制备单晶硅后纯度反而下降这么多。
这应该和单晶硅制备过程中的污染有关。
污染源应该主要有两个,一个是空气杂质污染,另一个就是电加热过程中释放的元素有关。
所以,刚才大家提到的控制纯度的方法都不错”。
这个老6,睁着眼说瞎话。
其实他只是听了一个开头,后面他们讨论的内容,只是大致搂了一耳朵,没有太往心里去。
因为所有的操作都有人的直接接触,这样的设计对操作员非常不友好。
他想到一个设备,真空炉,是老大哥援助的项目之一。
如今的真空炉虽然只有-3次幂,但是用于单晶硅制备已经足够。
唯一需要考虑的就是需要特制,那就是,需要在现有真空炉的上端增加一个圆筒。
圆筒最高端安装提拉装置。
只是这个装置不能再用丝杠,不然,圆筒设计的就要足够高。
如此,圆筒的强度、固定方式就会成为新的设计难点。
所以,使用特制的滑轨和绞索,外部使用电磁感应的方式进行驱动,就是最佳的选择。
刚才他就是在思考这个工艺问题。
他见大家都在等待下文,赶忙把真空炉的构想和大家全盘托出。
“这个主意妙啊!既解决了污染问题,也解决了人员防护问题”,老师A道。
“其实这个工艺,不仅仅能够解决以上问题,再改变设计,就能用于表面氧化处理”,老师b道。
“那如果再改变其外形,是不是可以用于金属物沉积?”,学生A道。
“金属物沉积其实不用这么复杂,可以使用氢气反应炉,直接采用气相沉积法”,李元提出了不一样的看法。
“氢气反应炉的制造难度较低,倒是个好主意。只是这个气相沉积法是个什么工艺”,老师A问道。
李元就把化学气相沉积的理论和方法向大家讲解一番。
“李元,你的知识太渊博,这个气相沉积法,你是哪里学到的?”。
老师b心中疑惑,搞了这么多年半导体,他对cVd技术只是了解到一个皮毛。
他也知道,现在西方正在半导体制备上使用这项技术。
由于封锁严密,他们一直无法一窥全貌。
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